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OCT基于光學(xué)相干原理是一種非侵入式光學(xué)成像技術(shù),以近紅外光為光源,邁克爾遜干涉儀為核心光學(xué)結(jié)構(gòu),產(chǎn)生光學(xué)干涉信號實現(xiàn)成像。原理圖如下所示:
近紅外波段的激光信號,通過使用相干干涉法測量樣本的深度就能提供微米級別的分辨率
聚焦后的近紅外激光信號能提供更高的橫向分辨率
東隆科技總代的Wasatch Photonics OCT光譜儀是基于光譜儀結(jié)構(gòu)設(shè)計,通過記錄不同頻率激光的干涉情況,并使用傅里葉變換得到具體的影像結(jié)果。由于采用了高靈敏度、高波長分辨率設(shè)計的光譜儀結(jié)構(gòu),使得該OCT光譜儀在業(yè)內(nèi)具有優(yōu)秀的檢測深度及靈敏度,還可以提供高分辨率的細節(jié)圖像,尤其對精細結(jié)構(gòu)材料的缺陷和表面平整度進行詳細而完善的測試。
如下圖所示,OCT光譜儀能清晰地測量到汽車車門表面的油漆劃痕。
OCT光譜儀可以非接觸式測量,無需耦合劑,其高分辨率可在2.6μm-10μm范圍內(nèi)呈現(xiàn),圖像捕捉速度達30幀/s,秒成像深度最大達5.8mm,可很好的應(yīng)用在3D成像上,對材料結(jié)構(gòu)也能進行系統(tǒng)化分析。
據(jù)悉,OCT光譜儀已被廣泛的應(yīng)用在各領(lǐng)域的無損檢測中,如工業(yè)加工、航空及自動化、顯示面板及醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)。
? 工業(yè)加工
OCT光譜儀適用于測量工業(yè)加工中的元器件、磨具、終件的形狀及外形尺寸,如上圖中是用于3D打印的高分子聚合物材料的測量結(jié)果,從圖中可以明顯看出工件的內(nèi)部加工缺陷。同時,OCT光譜儀還可以用于加工產(chǎn)線上的實時動態(tài)監(jiān)控、燒蝕深度的實時控制以及加工缺陷的動態(tài)分析等應(yīng)用。
? 航空及自動化
OCT光譜儀也可應(yīng)用于航空業(yè)及自動化領(lǐng)域,對一些特殊涂層或表面噴漆進行測試。由于OCT的高分辨率成像特性,可以探測到極微小的缺陷及內(nèi)部結(jié)構(gòu)異常,從而保障設(shè)備的安全使用。如圖中呈現(xiàn)的是一種復(fù)合涂層的成像結(jié)果,通過無損檢測能快速的對材料表面的缺陷進行定位。
? 顯示面板
OCT光譜儀優(yōu)秀的軸向分辨率對于多層結(jié)構(gòu)的顯示面板器件有著很好的成像效果。如在3D成像信息對顯示器表面的平整度以及可能存在的缺陷進行分析,厚度小于10微米的子層可以被清晰地成像顯示出來,如圖所示為手機顯示屏的表面鍍層成像的結(jié)果。
? 醫(yī)療設(shè)備
OCT光譜儀其實很早就在醫(yī)療行業(yè)中應(yīng)用和進行相關(guān)研究,如圖中所示運用OCT光譜儀對隱形眼鏡進行成像的圖片。由于OCT光譜儀具有非接觸及高靈敏度的特性,非常廣泛的應(yīng)用于在測量非常微小或者結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣本,尤其測量樣本內(nèi)部孔銅、缺陷、間隙等參數(shù),在眼科治療中已廣泛使用。
而Wasatch Photonics的OCT光譜儀的探頭是可以集成在手持式的平臺上用于樣本的測量,并且根據(jù)不同客戶的需求定制不同應(yīng)用場景需求的探頭,還可以為OEM客戶定制適合不同應(yīng)用場景的OCT光譜儀。